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廣東省工程技術研究中心
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  實驗設備

ALD-1200X-R-4 ALD回轉爐系統(tǒng)

應用范圍：ALD-1200X-R-4是一款4英寸ALD旋轉管式爐系統(tǒng)，包含用于原子層沉積的2個ALD進氣閥、1個精密液體氣相發(fā)生器以及4通道質子流量計控制系統(tǒng)，可利用此系統(tǒng)進行粉末表面的ALD和CVD包覆。該系統(tǒng)簡潔的設計使得更多的科研院所能夠在可負擔的低成本情況下實現(xiàn)ALD工藝實驗。 

產品型號 ：ALD-1200X-R-4 

上架時間 ：2019-07-09

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       ALD-1200X--R-4是一款4英寸ALD旋轉管式爐系統(tǒng)，包含用于原子層沉積的2個ALD進氣閥、1個精密液體氣相發(fā)生器以及4通道質子流量計控制系統(tǒng)，可利用此系統(tǒng)進行粉末表面的ALD和CVD包覆。該系統(tǒng)簡潔的設計使得更多的科研院所能夠在可負擔的低成本情況下實現(xiàn)ALD工藝實驗。

 性能指標和基本配置
控制面板

● 蒸汽壓力、ALD以及氣體流量參數均可通過一6英寸接觸屏由PLC進行控制。
● 兩個ALD進氣閥。
● 一個精密的4通道質子流量計系統(tǒng)。
● 請點擊下圖查看控制面板。
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ALD進氣閥

兩個ALD脈沖電磁閥（最小可在10ms完成閥門的開啟或關閉）
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精密液體氣相發(fā)生器

精密液體氣相發(fā)生器包含在本系統(tǒng)中并且連接到ALD進氣閥
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旋轉管式爐

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● 連續(xù)工作的最高溫度為1100℃
● 兩個溫區(qū)由兩個獨立的溫控系統(tǒng)來控制，而且都為PID30段程序化控溫
● 輸入電壓：208-240V AC，單向
● 最大功率為4KW
● 爐管旋轉速度：0-10rpm
● 回轉爐爐管結構如下圖所示：
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真空計

公司具有多種真空機可供選
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真空泵（選配）

公司具有多種真空泵可供選配
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更多可選配件

● 可選購氣液混合裝置，用于CVD系統(tǒng)（圖1.2）
● 可選購恒溫控制模塊（圖3）
● 可選購金石英測試晶體（圖4）以及熱電偶用于薄膜厚度以及溫度的測試
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相關應用

可利用ALD系統(tǒng)顯著降低石榴石結構固態(tài)電解質與電極之間的高的固固界面阻抗，相關文獻：Negating interfacial impedance in garnet-based solid-state Li metal batteries

應用注意事項 ● 爐管內氣壓不可高于0.02MPa
● 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
● 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態(tài)，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài)
● 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
● 石英管的長時間使用溫度＜1100℃
● 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
質量認證

所有電器元件（＞24V）均滿足UL/MET/CSA認證/CE認證，如您另付費用，我們可保證單臺儀器通過TUV（UL61010）或CSA認證
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保修期 一年保修，終身技術支持。
特別提示：
1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。
點擊查看售后服務承諾書。
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